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磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程，入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程，和靶原子碰撞，把部分動量傳給靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量，離開靶被濺射出來，最終得到緊湊的薄涂層以期望的結(jié)構(gòu)與成分沉積。